新材料(liao)在線^®

《大國之(zhī)材》原創文章(zhang)，轉載請聯系(xi)微信：EILIG2014

新材料(liào)在線 ID：xincailiaozaixian

圖片：受(shou)訪人提供、圖(tú)蟲創意

早在(zai)1842年，科學家格(ge)波夫就在實(shí)驗室中發現(xiàn)了陰極👣濺射(shè)現象，但由于(yú)人們對濺射(shè)技術缺乏深(shēn)入了解，商業(ye)化的磁控😄濺(jiàn)射設備直到(dào)1970年才逐漸應(ying)用于實驗室(shi)和小型生産(chan)。

20世紀80年代以(yǐ)後，随着以集(jí)成電路、信息(xī)存儲、液晶顯(xian)🤩示器⭐、光🌈存⭐儲(chu)✌️器、電子控制(zhì)器為主的電(dian)子與信息産(chǎn)業開始進入(rù)高速發展時(shi)🏒期，磁控濺射(shè)技術才從實(shí)驗室應用真(zhēn)正進入工業(ye)化規模生産(chan)應用領域。

然(rán)而，直到21世紀(jì)初，中國的靶(ba)材仍高度依(yi)賴進口，國内(nèi)🙇🏻竟無一家企(qi)業能夠提供(gòng)高純金屬靶(bǎ)材，市場被日(ri)立🈲金屬、TDK等海(hǎi)🈚外企業完全(quán)壟斷。

彼時，剛(gāng)剛經曆轉企(qi)改制的有研(yan)集團正在尋(xun)找産業化落(luo)地的項目，經(jīng)過一年多時(shi)間的調研，有(yǒu)研團🐉隊将目(mu)标對準⛹🏻‍♀️了高(gāo)純金屬靶材(cai)。

據全程參與(yǔ)研發的現任(rèn)有研新材總(zong)經理王興權(quán)回憶，當時業(ye)内對有研的(de)選擇反響并(bìng)不積極，很多(duo)人根本不相(xiang)信中國人還(hai)能生産半導(dao)體、集成電路(lù)用靶材。

2005年，剛(gang)剛進入靶材(cái)領域的有研(yan)團隊對靶材(cai)技術的認識(shí)如同一張白(bái)紙，全憑信念(nian)支撐。

三年以(yǐ)後，有研的靶(bǎ)材進入市場(chǎng)，并獲得客戶(hu)的基本🎯認可(kě)，産品開始走(zou)向正軌。

2012年，有(you)研成為批進(jìn)入國家重大(da)專項的企業(ye)，參與了🌍02專項(xiàng)🔞（集♋成電路）後(hou)期的所有項(xiàng)目。在項目的(de)助力下☎️，憑借(jie)對金屬材料(liào)的🎯深刻理解(jie)和材料學的(de)長期積累，有(yǒu)研成功突破(pò)了集成電路(lu)靶材從👨‍❤️‍👨材料(liào)到制品的全(quán)套技術，讓國(guo)産📞高純金屬(shǔ)❓靶材達到🌈了(le)國際先🔞進水(shuǐ)平，并擁有全(quán)部自主知識(shí)産權。

用王興(xing)權的話說：“現(xiàn)在的有研可(ke)以跟國際上(shàng)任何微電子(zi)材料大公司(si)平等的☁️進行(háng)市場對話和(hé)技術對話。”

01

打(da)破國外靶材(cái)主導地位指(zhǐ)日可待

《大國(guó)之材》：您覺得(dé)我們國内的(de)高純金屬靶(ba)材目前的發(fā)展水平處于(yú)♌什麼樣的位(wèi)置？我們存在(zài)哪些發展痛(tong)點？

王興權：我(wo)個人認為在(zai)微電子靶材(cai)這塊，中國應(yīng)該屬于第二(èr)梯隊，梯隊仍(réng)然是日本的(de)GX公司和美國(guó)的霍尼爾等(deng)公司。在✔️過去(qù)十幾✏️年裡，中(zhong)國的微電子(zi)靶材從零開(kāi)始，能發展到(dào)🔱目前的🔞水平(ping)，應🔆該說成🍉果(guo)是非常顯著(zhe)的。

當前的行(hang)業痛點問題(ti)已經不明顯(xiǎn)了，國内的微(wēi)電子靶材基(jī)本♉已經與國(guó)際領先企業(ye)處于同一競(jìng)争水平。原來(lai)談到痛點，可(kě)以💛說渾身都(dou)是痛，關鍵指(zhǐ)标🌈不清、核心(xin)技術不通、市(shi)🛀🏻場認可度低(dī)、人才隊伍缺(quē)乏、原材料受(shòu)制于人等等(děng)，都是我們曾(ceng)經經曆的痛(tong)點。

但是國内(nei)的微電子靶(bǎ)材發展到今(jīn)天，原來的錐(zhui)心之痛已經(jīng)不存在了。但(dàn)是，我們畢竟(jing)處于第二梯(tī)隊📧，更全面的(de)描述當前國(guó)内💜微電子靶(bǎ)材的發展水(shui)平✊，我認為🧑🏾‍🤝‍🧑🏼是(shì)多數跟從，部(bu)分平起，個别(bie)超越。

《大國之(zhī)材》：有研新材(cai)近幾年高純(chun)金屬靶材的(de)市場營收增(zēng)顯著，您分析(xi)主要是哪些(xie)原因？

王興權(quán)：我覺得高純(chún)金屬靶材的(de)業績增長主(zhu)要取決于三(sān)個因素。首先(xiān)是大勢，在過(guò)去的20年裡邊(bian)，中國的集成(cheng)電子👄領域是(shi)一個穩✍️步增(zēng)長的發展階(jiē)段，中芯國際(ji)等優勢企業(ye)像雨後春筍(sǔn)般湧現出來(lai)。

全球的微電(dian)子領域，年平(ping)均的發展速(sù)度大約為4%到(dào)5%，但是在過🈲去(qu)的20年内，中國(guo)微電子領域(yu)一直都保持(chi)在13%到🌏14%的發🈲展(zhǎn)水平。沒有微(wēi)電子領域的(de)快速發展，就(jiu)🌍不可能✉️有相(xiang)關的領域🐇裝(zhuang)備和材料的(de)進步。

其次，有(you)研科技集團(tuan)（原有色金屬(shǔ)研究總院）主(zhu)要從事有色(sè)金屬領域的(de)共性技術開(kāi)發，經過六十(shí)多年的積澱(diàn)，我們擁有大(dà)量金😘屬材料(liào)制備和加工(gōng)技術，對金屬(shǔ)材料的理解(jie)非常透徹。這(zhe)些積累為我(wǒ)們在微電子(zǐ)材料領域的(de)技術開發和(he)提升提🥰供了(le)巨大支撐。

當(dang)然，關鍵的一(yi)點，是有研人(ren)的努力和堅(jian)持，是一種産(chǎn)業情懷或者(zhe)說國家情懷(huai)，一種我們中(zhong)國人必須做(zuò)得出、做得好(hao)的勁頭。

在我(wo)們剛剛進入(rù)這個領域的(de)時候，範圍内(nèi)沒有人做微(wēi)電子靶材，甚(shèn)至做集成電(diàn)路相關材料(liào)的企業都非(fei)常少，那時候(hòu)靶材被霍尼(ni)韋爾、東曹、威(wēi)廉姆斯、優美(měi)科、日礦等國(guó)外企業壟斷(duan)，中國當♋時也(ye)有幾家公司(si)和科研機構(gòu)想進入這個(gè)領域，但受制(zhi)于技術🌈門檻(kan)和市場門檻(kǎn)，有些單位進(jin)來又退🐅出了(le)，有些單位發(fā)展止步不❗前(qian)，國産靶材行(háng)業發展起起(qi)伏伏。在這中(zhōng)間，有🥰研新材(cai)得益于🤟長期(qi)的堅持和持(chí)續投入。

當然(rán)，國家的重視(shì)和支持為我(wo)們的發展提(ti)供了強大支(zhī)撐。

《大國之材(cái)》：2018年靶材市場(chang)規模的增速(sù)達到30%，在半導(dǎo)體方面，增速(sù)達到60%。随着5G應(yīng)用趨勢的到(dao)來，微電子靶(ba)材的格局會(huì)發生哪些變(bian)化？

王興權：我(wǒ)認為打破國(guó)外企業占主(zhu)體的局面，指(zhǐ)日可待。現在(zai)國内的靶材(cai)企業在國際(ji)範圍内競争(zheng)，從技術到管(guan)理再到市場(chǎng)占有率，已經(jing)沒有明顯的(de)劣勢，尤其是(shì)在國内市場(chang)方面，這幾年(nian)全球集成電(dian)路的産業布(bù)局向中國大(dà)陸在轉移。從(cóng)區域發展來(lái)看，中國大陸(lu)的發展速度(du)會遠遠高于(yú)歐美、東南亞(yà)、日本、中國台(tái)灣等其他地(dì)區。在市場交(jiāo)互和本地化(huà)服務方面，國(guó)内企業具備(bèi)獨特的地緣(yuan)優勢。

但值得(de)注意的是，從(cong)新品開發的(de)角度來看，目(mù)前絕㊙️大👨‍❤️‍👨多數(shù)新💋産🚩品仍出(chū)自國外企業(ye)，尤其是日本(běn)的JX公司，占有(you)靶材新品約(yue)60%的份❗額，一直(zhi)保持着技術(shù)原發✏️性優勢(shi)，在未來市場(chǎng)中自然也會(hui)居于⁉️主導地(dì)位，因此我們(men)在一段時間(jiān)内可能還🆚是(shi)跟從的狀态(tài)。

但新技術的(de)引入，尤其是(shi)5G技術的普及(jí)将是一個非(fei)🚶‍♀️常好的契機(ji)。随着集成電(diàn)路的線寬越(yuè)來越窄，對材(cai)👄料提出了❄️更(geng)高的需求，原(yuán)☔來的材料組(zu)分、純度、組織(zhi)結構已不足(zú)以支撐集📱成(cheng)電路技術指(zhǐ)标的躍升。有(you)研新材對📧材(cai)料的理解是(shì)非常深的，對(dui)材料元素的(de)控制、材料行(hang)為控制和組(zu)織結構控制(zhi)✌️是我們的強(qiang)👄項。這就給了(le)我們一次突(tu)破老産品的(de)固定格局，大(dà)家站在同一(yi)起跑線上的(de)機會。在新🧑🏾‍🤝‍🧑🏼産(chǎn)品框架下，我(wǒ)💞們的材料技(ji)術優勢🎯将發(fā)揮得更淋漓(li)盡緻。

另外，随(suí)着電子信息(xi)技術的發展(zhǎn)和應用領域(yù)的拓寬，芯片(pian)的特殊功能(neng)性需求越來(lái)越高，比如未(wei)來一些芯片(piàn)制程中對材(cái)料的磁性能(neng)、熱效應、相變(bian)反應、壓電效(xiào)應等方面提(ti)出特殊需要(yao)，很可能已超(chao)越了🧑🏾‍🤝‍🧑🏼單質材(cái)料的物理極(jí)限，這時就需(xū)要靠特種合(he)金材料、複合(he)材料或不同(tóng)材料的複合(hé)工藝才能滿(mǎn)足性能需求(qiu)，這就涉及到(dào)材料性質與(yu)功能的關聯(lián)❄️，涉及到材料(liào)的設計。這時(shí)，誰在材料技(jì)術方面積澱(dian)深厚，誰在功(gōng)能材料開發(fa)方面能力強(qiang)，誰就能抓住(zhu)微電子産業(ye)的發展機遇(yù)，誰就能成為(wéi)未來的領跑(pǎo)者。

有研新材(cai)辦公樓

02

“電磁(ci)光醫”協同發(fā)展

《大國之材(cái)》：有研新材目(mu)前在新材料(liao)領域所處的(de)一個行業地(di)位如何？

王興(xing)權：談到在新(xīn)材料領域的(de)行業地位，由(you)于有研新材(cái)的産業🐆覆蓋(gai)領域比較廣(guǎng)，需要細分來(lai)說，總結起來(lai)我們叫“電磁(cí)🏃‍♂️光醫”四大闆(pǎn)塊引領發展(zhǎn)。

在微電子薄(bao)膜材料領域(yù)，目前我們的(de)全球市場占(zhàn)有㊙️率大概5%，數(shu)字并不大，但(dan)這個5%的内涵(hán)很重要，可以(yǐ)分三個維度(dù)來⭕看。

一是從(cóng)市場維度來(lái)看，我們目前(qián)以國内客戶(hù)為主👅，國内的(de)客戶覆蓋率(lü)接近100%，也就是(shì)說國内幾乎(hu)所有微電子(zǐ)企業都會用(yong)到有研新材(cái)的材料。

二是(shi)從産品覆蓋(gài)維度來看，我(wǒ)們自己内部(bu)一種說法❓叫(jiao)🌈“全餐”。隻要是(shì)微電子領域(yu)用的金屬薄(báo)膜材料，無論(lùn)是濺射靶材(cai)還是蒸發材(cái)料，所有的材(cái)料品種、所有(yǒu)的産品型☁️号(hào)有研新材都(dōu)有。

還有一個(gè)重要的維度(dù)，叫垂直一體(tǐ)化。這一點在(zai)全球範圍内(nei)，隻🏒有日本的(de)JX公司和美國(guo)的霍尼韋爾(ěr)能夠做🐇得到(dao)（這兩家也沒(mei)全做到）。我們(men)不僅僅生産(chan)靶材和蒸發(fa)材料，還可以(yǐ)自己生産制(zhi)作靶材的微(wei)電子級原材(cái)料， 比如說微(wei)電子靶☎️材用(yòng)的銅材，我們(men)能夠把市場(chang)上随處可得(dé)的🐇普通的銅(tóng)材，提純到“六(liù)個🐕九”的電子(zǐ)級😄超♻️高純銅(tong)。在微電子領(ling)域，能夠做到(dào)原材料不受(shòu)🧡制于人，對于(yú)企業的存活(huo)和發展至關(guan)重要！

在微電(dian)子薄膜材料(liào)領域，有研新(xīn)材已經是國(guo)内行🔞業龍頭(tou)，技術優勢、人(ren)才優勢、市場(chǎng)優勢已經形(xíng)成。

在稀土領(ling)域，有研新材(cai)應該說是範(fàn)圍内稀土技(ji)術能力強全(quán)面的企業。有(you)研新材具備(bèi)從稀土選礦(kuàng)、稀土分離，稀(xi)土金屬制備(bei)的全流程原(yuán)創技術。現在(zai)全球範圍内(nei)70%的稀土選冶(ye)都源于我們(men)的技術。目前(qian)有研新材是(shi)全球能生産(chan)多種超高純(chun)稀土金屬的(de)企☔業。我們的(de)稀土發光材(cái)料、稀土磁性(xing)材👅料技術也(yě)具✏️備國内領(lǐng)先水平。

在紅(hong)外光學材料(liào)方面，有研一(yi)直掌握着行(hang)業引領性技(ji)術，中國🛀🏻的根(gen)鍺單晶就出(chu)自我們之手(shǒu)，目前有研新(xīn)材是國内大(da)的紅外鍺單(dān)晶和二六族(zú)晶體生産企(qǐ)業。

在生物醫(yi)用材料方面(mian)，中國根牙弓(gong)絲、支食道支(zhī)架🧑🏾‍🤝‍🧑🏼、支膽道支(zhī)架、支前列腺(xian)支架等等，都(dōu)是由我們出(chū)品的。

總而言(yán)之，有研新材(cai)是一家市場(chǎng)導向、技術先(xian)導型企業，在(zài)材料領域具(jù)有強大的技(jì)術創新和技(jì)術轉化能力(lì)，使🔞企業在發(fa)展中🔅始終保(bao)持旺盛的活(huó)力和動力，為(wéi)企業提供了(le)廣闊的發展(zhan)空間。

《大國之(zhī)材》：公司對未(wei)來市場的布(bù)局，有哪些新(xin)的舉措？

王興(xing)權：我們從現(xiàn)在的戰略維(wéi)度上來看，還(hái)是圍繞“電磁(ci)光📞醫”這四個(ge)✂️闆塊，這四個(gè)闆塊有不同(tóng)的定位，其資(zi)源配置方式(shì)🐅和發展模式(shi)也不同。

電子(zǐ)薄膜材料闆(pǎn)塊是有研新(xin)材的核心業(yè)務闆塊，也是(shì)未來重點發(fā)展的産業領(lǐng)域。公司将持(chi)續加大在這(zhe)一領域的資(zi)源配置力度(dù)，不斷優化産(chǎn)業布局，壯大(dà)産業規模，并(bing)終成為全球(qiu)領先的微電(diàn)子薄膜材料(liào)和相關服務(wu)的提供者。

稀(xi)土領域，我們(men)将大力推動(dòng)稀土綠色清(qīng)潔選冶技術(shu)，提供行業服(fu)務，助推我國(guo)稀土産業的(de)良性發展，同(tóng)時充分發揮(hui)全産業鍊技(ji)術優勢，發展(zhan)特種磁性材(cai)料産業。

特種(zhǒng)光學材料領(lǐng)域，繼續保持(chi)行業領頭羊(yáng)的位置🔆，充分(fèn)發☁️揮核心材(cai)料優勢，适度(dù)延伸産業鍊(liàn)。

生物醫用領(lǐng)域，走市場化(huà)道路，引入優(you)質的資本方(fang)💁和資源🔞方，使(shi)🛀其具有高度(du)市場活力和(he)企業活力，推(tui)動快速發展(zhan)。